|
南科集团郑重推出1.5微米低压金属栅晶圆代工工艺(PMC05K)
1、工艺特点:
(a)单管耐压可达9V,适合1.5~5V低压工作;
(b)器件驱动力优于1.2微米硅栅及0.6微米硅栅;
(c)适合具有内建电容及三极管产品之应用,可大幅减少芯片面积;
(d)使用N衬底硅片,可内建生成电阻;
(e)仅需三块掩膜版即可完成CMOS产品——大幅度节省开发成本;
(f)低廉的代工费——低于1.2微米硅栅工艺;
(g)快速的交货周期——投片10天即可产出。
2、1.5μm金属栅(PMC05K)与其它工艺电性相比较:
| |
新工艺 |
其它工艺 |
| 1.5μm金属栅 |
3.0μm 金属栅 |
1.2μm硅栅 |
0.6μm硅栅 |
| (1)耐压(V) |
9 |
>6.5 |
>11 |
>9 |
| (2)开启电压(V) |
0.6 |
0.6 |
0.9 |
0.9 |
(3)N-管饱和电流(W=30μ)
(VDS=VGS=5V)(mA) |
15 |
3.2 |
7.5 |
9.6 |
(4)P-管饱和电流(W=30μ)
(VDS=VGS=5V)(mA) |
6 |
1.5 |
3.8 |
4.8 |
南科集团郑重推出3.0微米高压金属栅晶圆代工工艺(TC3)
1、工艺特点:
(a)单管耐压可达18V,适合9~12V高压工作;
(b)仅需三块掩膜版即可完成CMOS高压工艺——较低的产品开发成本;
(c)器件性能优于3.0微米及2.0微米硅栅工艺;
(d)低廉的代工费——低于2.0微米及3.0微米硅栅;
(e)快速的交货周期——投片10天即可产出。
2、与其它工艺电性相比较:
| |
TC3 |
TC7 |
2.0μm硅栅 |
3μm硅栅 |
| (1)耐压(V) |
>18V |
>22V |
>13V |
>16V |
| (2)开启电压(V) |
0.6 |
0.6 |
0.7 |
0.7 |
(3)N-管饱和电流(W=30μ)
(VDS=VGS=5V)(mA) |
3.0 |
0.77 |
5.25 |
3.0 |
(4)P-管饱和电流(W=30μ)
(VDS=VGS=5V)(mA) |
1.2 |
0.38 |
2.25 |
1.2 |
| (5)栅极尺寸(μm) |
3.0 |
7.0 |
2.0 |
3.0 |
|